Зондовые нанотехнологии в электронике
Неволин В.К.
Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века
Год:
2014
Издание:
2, исправленное
Издательство:
Издательство "Техносфера"
Язык:
russian
Страницы:
176
ISBN 10:
5948363821
ISBN 13:
9785948363820
Серия:
Мир электроники
Файл:
PDF, 34.35 MB
IPFS:
,
russian, 2014